ALD-Verfahren Tantalnitrid-basierter Elektroden – neues Buch zeigt neue Techniken in der Atomlagenabscheidung
"Entwicklung von Verfahren zur Atomlagenabscheidung von leitfähigen Tantalnitrid-basierten Dünnschichten" von Christoph Hoßbach stellt Methoden und Verfahren zur Atomlagenabscheidung (ALD) vor.